周治平表示,光電子學(xué)是研究光與電之間的相互轉換以及相互作用,并且利用特殊的器件和設備將他們應用起來(lái)的一門(mén)科學(xué),可以分為無(wú)源和有源。集成光路、平面光路、光子集成被歸納為無(wú)源光電子;集成電路、光電子學(xué)、光電集成以及硅基光電子學(xué)被歸納為有源光電子。
光電子學(xué)的發(fā)展離不開(kāi)半導體技術(shù)的支持,在半導體晶體中,人為地摻入特定的雜質(zhì)元素,使其導電性能可控,可以制作出多種電子器件,光電子器件和集成芯片。
與此同時(shí),半導體芯片中光電不分家,電子和光子相互作用:加電可以發(fā)光;光照可以發(fā)電,波導中光子的行為也需要通過(guò)與電子的相互作用來(lái)有效操控。周治平表示:“硅基光電子學(xué)的意義就在于要加強光電效應在硅基微電子芯片中的作用,使之成為硅基光電子芯片。”
對于硅基光電子的起源,周治平表示,由于硅基光電子主要就是研究芯片,所以要從芯片的起源開(kāi)始說(shuō)起。
1950年代,人們開(kāi)始電子芯片的研究,主要特征是利用電子作為信息載體;1960年代,人們想利用光子作為信息載體來(lái)研究光子芯片,但光子之間沒(méi)有相互作用,只能提供無(wú)源器件;1970年代,人們注意到光電子的相互作用,以III-V 族材料為平臺,打造光電子芯片,是支撐高速通信的關(guān)鍵技術(shù),但成本高,集成度低;1990年代,隨著(zhù)硅工藝的發(fā)展,人們開(kāi)始研究將光電器件“硅片化”、與CMOS工藝兼容。
進(jìn)入到21世紀,人們開(kāi)始以硅材料為平臺,打造硅基光電子芯片,包含前述4種芯片,注重光子和電子的相互作用,強調大規模異質(zhì)集成。“硅基光電子芯片是目前半導體芯片發(fā)展的最高級階段,后摩爾時(shí)代的核心技術(shù),大數據時(shí)代的基石。”
周治平介紹,硅基光電子學(xué)Silicon Based Optoelectronics(SBO)是探討微納米量級光子、電子、及光電子器件在不同材料體系中的新穎工作原理,并使用與硅基集成電路工藝兼容的技術(shù)和方法,將它們異質(zhì)集成在同一硅襯底上,形成一個(gè)完整的具有綜合功能的新型大規模光電集成芯片的一門(mén)科學(xué)。
為什么硅基光電子學(xué)如此重要。周治平表示,通信系統一路走來(lái)都有一個(gè)小型化的過(guò)程,通過(guò)不斷努力把巨型的大型的通信系統縮小,再把小型的通訊系統芯片化。
“小型化一定是通過(guò)光電集成來(lái)實(shí)現。”周治平介紹,光電集成可以分為單片集成:所有光電器件工藝與CMOS工藝完全兼容;混合集成:多芯片集成,chiplet,3D集成……;異質(zhì)集成:包含其他材料,如III-V和LiNbO等的硅基單片光電集成。
“這三種集成方式各有優(yōu)缺點(diǎn),不過(guò)第三種更有發(fā)展空間。”在周治平看來(lái),硅基光電子是通信系統小型化的關(guān)鍵使能技術(shù),能夠使能芯片技術(shù),使能微小系統,使能人機一體化。